EPEE 550是一款面向LED领域的大产能PECVD设备，适用于LED芯片制造中的保护层、SWE掩膜层、CBL等工艺制程，可用于SiO2、SiNx、SiONx等高质量薄膜的沉积。该设备具有运行稳定、维护简单快捷、产能输出大、沉积膜层质量优异等特点。2014年该设备一经推出，就凭借其优异的机台性能，具竞争力的设备产能及使用成本，获得了客户的高度认可，目前已实现多家国内主流客户的大批量销售。  

   此次北方微电子公司再次荣获OFweek“最佳LED设备技术创新奖”，不仅是业界对北方微电子LED领域芯片设备的认可，也是对国产设备技术创新能力的肯定和鼓励，北方微电子将再接再厉，努力做好客户身边的设备专家，为进一步推动高端装备的国产化和市场化贡献力量。