北方微电子再获OFweek“最佳LED设备技术创新奖”
2014-12-24 10:32

"OFweek第十一届LED前瞻技术与市场发展高峰论坛(OFweek LED Summit 2014)"于11月20日在深圳星河丽思卡尔顿酒店圆满落幕,同期举行的还有"2014LED行业年度评选(OFweek LED Awards)"颁奖典礼,其中北京北方微电子公司凭借新产品LED EPEE 550 PECVD产品成功夺得"最佳LED设备技术创新奖"。

   EPEE 550是一款面向LED领域的大产能PECVD设备,适用于LED芯片制造中的保护层、SWE掩膜层、CBL等工艺制程,可用于SiO2、SiNx、SiONx等高质量薄膜的沉积。该设备具有运行稳定、维护简单快捷、产能输出大、沉积膜层质量优异等特点。2014年该设备一经推出,就凭借其优异的机台性能,具竞争力的设备产能及使用成本,获得了客户的高度认可,目前已实现多家国内主流客户的大批量销售。  
   此次北方微电子公司再次荣获OFweek“最佳LED设备技术创新奖”,不仅是业界对北方微电子LED领域芯片设备的认可,也是对国产设备技术创新能力的肯定和鼓励,北方微电子将再接再厉,努力做好客户身边的设备专家,为进一步推动高端装备的国产化和市场化贡献力量。